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TMR傳感器

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  • 發(fā)布時(shí)間:2015/1/29 12:04:40
  • 作者:銀河電氣
定義
TMR(Tunnel MagnetoResistance)傳感器:隧道磁電阻傳感器
TMR傳感器是近年來(lái)開(kāi)始工業(yè)應(yīng)用的新型磁電阻效應(yīng)傳感器,其利用的是磁性多層膜材料的隧道磁電阻效應(yīng)對(duì)磁場(chǎng)進(jìn)行感應(yīng),廣泛用于現(xiàn)代工業(yè)和電子產(chǎn)品中以感應(yīng)磁場(chǎng)強(qiáng)度來(lái)測(cè)量電流、位置、方向等物理參數(shù)。
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TMR效應(yīng)簡(jiǎn)介

  TMR效應(yīng)基于電子的自旋效應(yīng),在磁性釘扎層和磁性自由層中間間隔有絕緣體或半導(dǎo)體的非磁層的磁性多層膜結(jié)構(gòu),由于在磁性釘扎層和磁性自由層之間的電流通過(guò)基于電子的隧穿效應(yīng),因此稱這一多層膜結(jié)構(gòu)稱為磁性隧道結(jié)(MTJ, Magnetic Tuunel Junction)。這種磁性隧道結(jié)在橫跨絕緣層的電壓作用下,其隧道電流和隧道電阻依賴于兩個(gè)鐵磁層(磁性釘扎層和磁性自由層)磁化強(qiáng)度的相對(duì)取向。當(dāng)磁性自由層在外場(chǎng)的作用下,其磁化強(qiáng)度方向改變,而釘扎層的磁化方向不變,此時(shí)兩個(gè)磁性層的磁化強(qiáng)度相對(duì)取向發(fā)生改變,則可在橫跨絕緣層的的磁性隧道結(jié)上觀測(cè)到大的電阻變化,這一物理效應(yīng)正是基于電子在絕緣層的隧穿效應(yīng),因此稱為隧道磁電阻效應(yīng)(TMR ,Tunneling Magnetoresistance )。也就是說(shuō)TMR磁傳感器是利用磁場(chǎng)的變化來(lái)引起磁電阻變化,另一方面,我們可以通過(guò)觀測(cè)TMR磁傳感器的電阻變化來(lái)測(cè)量外磁場(chǎng)的變化。所以我們可以認(rèn)為TMR傳感器就是一個(gè)電阻,只是TMR傳感器的電阻值隨外加磁場(chǎng)值的變化,其阻值發(fā)生改變。

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幾種典型TMR傳感器

01TMR線性磁傳感器

  線性磁傳感器采用自旋閥結(jié)構(gòu)的TMR多層膜通過(guò)現(xiàn)代集成工藝制成。器件采用推挽式惠斯通電橋結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),能夠有效地補(bǔ)償傳感器的溫度漂移。其內(nèi)部包含四個(gè)高靈敏度TMR敏感電阻,輸出信號(hào)的峰.峰值可達(dá)工作電壓的80%,從而降低了許多應(yīng)用中外部信號(hào)放大處理電路的復(fù)雜度,在部分應(yīng)用中甚至不需要進(jìn)行放大,減小了傳感器體積和降低了整體成本。

02TMR電流傳感器

  電流通過(guò)導(dǎo)線時(shí)在導(dǎo)線周圍會(huì)產(chǎn)生磁場(chǎng),磁場(chǎng)的大小正比于導(dǎo)線中電流的大小,因此采用TMR磁場(chǎng)傳感器測(cè)量磁場(chǎng)的大小則可以間接地測(cè)量導(dǎo)線中電流的大小,傳感單元仍然采用推挽式惠斯通電橋結(jié)構(gòu),輸出信號(hào)的峰峰值可達(dá)工作電壓的80%。

03TMR角度傳感器

  在傳感器芯片上表面放置一塊磁體,通過(guò)旋轉(zhuǎn)磁體,該磁體可以在平行于傳感器芯片表面的任意方向產(chǎn)生使TMR芯片飽和的磁場(chǎng)。傳感器中的TMR器件主要由兩磁性層組成,一層是“釘扎層”.磁化方向不受外加磁場(chǎng)影響,另一層是“自由層”,磁化方向隨外加磁場(chǎng)變化,并在外加磁場(chǎng)大小飽和時(shí),與外加磁場(chǎng)方向相同。隧道磁電阻效應(yīng)使得傳感器電阻隨釘扎層和自由層磁化方向夾角呈余弦關(guān)系變化,所以隨著外加磁場(chǎng)角度變化,傳感器的輸出電壓呈正/余弦曲線。由此我們可以通過(guò)傳感器的輸出電壓而得到磁體角度位移的變化。由于正弦或余弦曲線的非單調(diào)性,需要兩個(gè)磁敏感方向互相垂直的傳感單元提供的信息來(lái)最終確定磁體的角度。
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TMR傳感器的特點(diǎn)
  1、功耗更低,電阻率大、工作電流小,工作電壓低;
  2、精度高,靈敏度高、信噪比好、分辨率高、線性好、線性范圍寬;
  3、體積小,工藝性好,磁藕合、非接觸、抗干擾能力強(qiáng)、穩(wěn)定性好,可在油污、灰塵、雨水等惡劣環(huán)境下工作;
  4、溫度穩(wěn)定性好,工作溫度范圍寬,可達(dá)200攝氏度;

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